Deprotection kinetic monitoring of a 193nm resist by ellipsometry

Authors :: Ridaoui, H.
jean-herve tortai
Derrough, S.
Sourd, C.
Trouve, H.
Pikon, A.
Clot, Marielle
Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :: MNE, MNE, 2007, copenhague, Denmark, HAL
Publication Year :: 2007
Publisher :: HAL CCSD, 2007.
Abstract: International audience

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