Process for making a gate for a short channel CMOS transistor structure

Authors :: Joubert, O.
Cunge, G.
Foucher, J.
Fuard, D.
Bonvalot, M.
Vallier, L.
Clot, Marielle
Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM)
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :: Patent n° : WO0205336. 2004
Publication Year :: 2004
Publisher :: HAL CCSD, 2004.

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