MEMS resonator having at least one resonator mode shape

Authors :: Sworowski, M.
Gamand, P.
Philippe, P.
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN)
Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)
Source :: Patent n° : WO2007102130 (A2). 2007
Publication Year :: 2007
Publisher :: HAL CCSD, 2007.
Abstract: n° de priorité : EP20060110892 20060309 ; également publié en tant que : EP1997225 (A2) 2008-12-03 ; WO2007102130 (A3) 2007-11-15 ; CN101401303 (A) 2009-04-01 ; JP2009529820 (A) 2009-08-20 ; AT441974 (T) 2009-09-15 ; EP1997225 (B1) 2009-09-02 ; US2010156569 (A1) 2010-06-24 ; US7839239 (B2) 2010-11-23 ; CN101401303 (B) 2011-07-13

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