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Optimisation de l'Implantation Ionique et du Recuit Thermique pour SiC

Authors :
Blanqué, Servane
Godignon, Philippe
Camassel, Jean
Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Física
Source :
TDX (Tesis Doctorals en Xarxa), TDR. Tesis Doctorales en Red, instname
Publication Year :
2004
Publisher :
Universitat Autònoma de Barcelona, 2004.

Subjects

Subjects :
SiC
Ciències Experimentals
Implantation Ionique
Recuit Thermique

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
TDX (Tesis Doctorals en Xarxa), TDR. Tesis Doctorales en Red, instname
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..675da8f35db37699c97a6f5c93f5ed57

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