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Calibrated scanning thermal microscopy for nanolayered and micropatterned samples

Authors :
Massoud, A.M.
Bluet, Jean-Marie
Lacatena, Valeria
Haras, Maciej
Robillard, J.F.
Chapuis, Pierre-Olivier
INL - Spectroscopies et Nanomatériaux (INL - S&N)
Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL)
École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Centrale de Lyon (ECL)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN)
Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon (CETHIL)
Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)
Université de Lyon-École Supérieure de Chimie Physique Électronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :
MRS Spring meeting, Symposium NM2 on “Nanoscale Heat Transfer – From fundamentals to devices”, MRS Spring meeting, Symposium NM2 on “Nanoscale Heat Transfer – From fundamentals to devices”, Apr 2017, Phoenix, United States
Publication Year :
2017
Publisher :
HAL CCSD, 2017.

Abstract

International audience

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
MRS Spring meeting, Symposium NM2 on “Nanoscale Heat Transfer – From fundamentals to devices”, MRS Spring meeting, Symposium NM2 on “Nanoscale Heat Transfer – From fundamentals to devices”, Apr 2017, Phoenix, United States
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..629d565213a8ac333bbd8e616fa9c5ef