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Experimental and theoretical investigation of the ‘apparent’ mobility degradation in Bulk and UTBB-FDSOI devices: A focus on the near-spacer-region resistance

Authors :
RIDEAU, D.
MONSIEUR, F.
NIER, O.
NIQUET, Y.
LACORD, J.
QUENETTE, V.
MUGNY, G.
HIBLOT, G.
GOUGET, G.
QUOIRIN, M.
SILVESTRI, L.
NALLET, F.
TAVERNIER, C.
JAOUEN, H.
STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES)
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC)
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Laboratory of Atomistic Simulation (LSIM )
Modélisation et Exploration des Matériaux (MEM)
Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG)
Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI)
Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
Laboratoire de Génie Electrique de Grenoble (G2ELab)
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut Polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Synopsys Switzerland LLC
Centre de recherches Paul Pascal (CRPP)
Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG)
Source :
2014 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD), 2014 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD), Sep 2014, Yokohama, France. pp.101-104
Publication Year :
2014
Publisher :
HAL CCSD, 2014.

Abstract

International audience

Subjects

Subjects :
[PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
2014 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD), 2014 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD), Sep 2014, Yokohama, France. pp.101-104
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..5c85426b1d32fc34897b9ddcbecec49a

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