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Méthode de plaquage temporaire de substrat souple pour les microtechnologies

Authors :
Rouxel, Didier
Vincent, Brice
Badie, Laurent
ROUXEL, Didier
Institut Jean Lamour (IJL)
Université de Lorraine (UL)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :
France, N° de brevet: 432468. 2011
Publication Year :
2011
Publisher :
HAL CCSD, 2011.

Abstract

Offre de Transfert Technologique de l’Université de Lorraine et enveloppe Soleau

Subjects

Subjects :
[SPI]Engineering Sciences [physics]
[SPI] Engineering Sciences [physics]
[SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Details

Language :
French
Database :
OpenAIRE
Journal :
France, N° de brevet: 432468. 2011
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..51030fab0e34216aa3d9390ed5e3de3f

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Authors Abstract Subjects Details