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Self-assembly silicon nanowire growth in perfect nanoporous alumina arrays obtained by nanoimprinting

Authors :
Gorisse, T.
Dupré, L.
Zelsmann, M.
Buttard, B.
Gentile, P.
Martin, M.
Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (SiNaps)
PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS (PHELIQS)
Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG)
Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])
Clot, Marielle
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :
European Materials Research Society conference-E-MRS 2012, Spring Meeting, European Materials Research Society conference-E-MRS 2012, Spring Meeting, May 2012, Strasbourg, France
Publication Year :
2012
Publisher :
HAL CCSD, 2012.

Abstract

International audience

Subjects

Subjects :
[PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
[PHYS.COND]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]
[PHYS.COND] Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]
[PHYS.COND.CM-MS] Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
European Materials Research Society conference-E-MRS 2012, Spring Meeting, European Materials Research Society conference-E-MRS 2012, Spring Meeting, May 2012, Strasbourg, France
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..3c1659b76182a60f79d1fb44b67bec38

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Authors Abstract Subjects Details