Caractérisation mécanique des matériaux isotropes par microscopie à pointe vibrante

Colloque avec actes et comité de lecture. Internationale.; International audience; En sciences des matériaux comme en sciences pour l'ingénieur, la connaissance des propriétés mécaniques à l'échelle locale est un enjeu majeur. Cette connaissance est notamment utile pour le développement et la miniaturisation des dispositifs pour des microsystèmes électromécaniques (MEMS), dont les propriétés mécaniques sont dépendantes des conditions de fabrication. Pour obtenir de telles informations il est possible de transposer à l'échelle micro des essais existant à l'échelle macroscopique, comme l'essai de traction ou l'essai de compression, qui fournissent un état de contrainte que l'on considère comme homogène à l'échelle micrométrique . Par la réalisation du corps d'épreuve et l'utilisation de méthodes adaptées, les propriétés mécaniques locales peuvent être obtenues en utilisant le Scanning Microdeformation Microscope (SMM) qui a vu le jour au sein de l'institut FEMTO-ST : ce microscope à sonde locale permet de caractériser des matériaux de manière non destructive. Son développement au fil des années a permis le passage d'une utilisation qualitative à une utilisation quantitative, notamment par la mesure du module réduit