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Pt nanoislands embedded in Al2O3 matrix: from ALD-based fabrication to structural to electrical characterization

Authors :
Daniel Thomas
Etienne Puyoo
Martine Le Berre
Liviu Militaru
Koneti, S.
Annie Malchere
Lucian Roiban
Andrei SABAC
David Albertini
Bruno Canut
Francis Calmon
Brice Gautier
STI-IMM-LEG
Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)
INL - Dispositifs Electroniques (INL - DE)
Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL)
École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Matériaux, ingénierie et science [Villeurbanne] (MATEIS)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST)
Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC)
Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
INL - Plateforme Technologique Nanolyon (INL - Nanolyon)
INL - Spectroscopies et Nanomatériaux (INL - S&N)
Inl, Laboratoire INL UMR5270
Source :
EMRS Spring Meeting, EMRS Spring Meeting, Jan 2017, Strasbourg, France, HAL
Publication Year :
2017
Publisher :
HAL CCSD, 2017.

Abstract

22-26/05/2017; International audience; no abstract

Subjects

Subjects :
[PHYS.PHYS.PHYS-OPTICS] Physics [physics]/Physics [physics]/Optics [physics.optics]
[PHYS]Physics [physics]
[PHYS.PHYS.PHYS-OPTICS]Physics [physics]/Physics [physics]/Optics [physics.optics]
[SPI.OPTI] Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic
[SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
[SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic
[SPI.MAT] Engineering Sciences [physics]/Materials
[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
[PHYS] Physics [physics]
[SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
EMRS Spring Meeting, EMRS Spring Meeting, Jan 2017, Strasbourg, France, HAL
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..1479bfde4df6861d44f557fd16770b38

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Authors Abstract Subjects Details