Back to Search
Start Over
Etude XPS de la ré-oxydation de films de Nichrome dans la chambre d'analyse lors du profilage séquentiel par érosion
- Source :
- ELSPEC'16, 7eme conférence francophone sur les spectroscopies d’électrons, ELSPEC'16, 7eme conférence francophone sur les spectroscopies d’électrons, May 2016, Versailles_Meudon, France
- Publication Year :
- 2016
- Publisher :
- HAL CCSD, 2016.
-
Abstract
- International audience; Au cours d’études par profilage XPS de la composition de films de Nichrome, d’importantes variations sur la quantité d’oxygène après érosion ont été observées. Ces variations ne dépendent pas de l’état d’oxydation de la couche superficielle mais de l’intervalle de temps entre l’érosion et l’acquisition du spectre O1s. L’étude a mis en évidence que la teneur en oxygène augmente dès la première minute après érosion et continue sur 6 heures. L’apparition de composantes à haute énergie sur les pics Cr2p montre une oxydation concomitante du chrome.
Details
- Language :
- French
- Database :
- OpenAIRE
- Journal :
- ELSPEC'16, 7eme conférence francophone sur les spectroscopies d’électrons, ELSPEC'16, 7eme conférence francophone sur les spectroscopies d’électrons, May 2016, Versailles_Meudon, France
- Accession number :
- edsair.dedup.wf.001..146cfbe5c8c8ffacb562625850469f62