Back to Search Start Over

3D source/drain doping optimization in multi-channel MOSFET. ESSDERC

Authors :
Tachi, K.
Vulliet, N.
Barraud, S.
Guillaumot, B.
Maffini-Alvaro, V.
Vizioz, C.
Arvet, C.
Campidelli, Y.
Gautier, P.
Hartmann, J.M.
Skotnicki, T.
Cristoloveanu, S.
Iwai, H.
Faynot, O.
Ernst, T.
Domenget, Chahla
STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES)
Laboratoire d'Ecologie Alpine (LECA)
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC)
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI)
Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :
Proc. in ESSDERC 2010, (F. Gamiz, A. Godoy eds.), IEEE, ISBN 978-1-4244-6659-7, 40th European Solid-State Device Research Conference, 40th European Solid-State Device Research Conference, Sep 2010, Sevilla, Spain. pp.368-371
Publication Year :
2010
Publisher :
HAL CCSD, 2010.

Abstract

International audience

Subjects

Subjects :
[PHYS.COND.CM-GEN] Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Other [cond-mat.other]
[PHYS.COND.CM-GEN]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Other [cond-mat.other]
ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

Details

Language :
English
ISBN :
978-1-4244-6659-7
ISBNs :
9781424466597
Database :
OpenAIRE
Journal :
Proc. in ESSDERC 2010, (F. Gamiz, A. Godoy eds.), IEEE, ISBN 978-1-4244-6659-7, 40th European Solid-State Device Research Conference, 40th European Solid-State Device Research Conference, Sep 2010, Sevilla, Spain. pp.368-371
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..06dc5883eac467da3c0d8c4a867ccebe

Tools

Authors Abstract Subjects Details