Synthèse par procédé plasma basse température et caractérisation de matériaux diélectriques pour l'optique intégrée

Authors :: Thomas Begou
Antoine Goullet
Granier, Agnès A.
Marie-Paule BESLAND
Akram Soussou
Schneider, F.
Lionel Camberlein
Etienne Gaviot
Bruno Bêche
Institut des Matériaux Jean Rouxel (IMN)
Université de Nantes - UFR des Sciences et des Techniques (UN UFR ST)
Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Ecole Polytechnique de l'Université de Nantes (EPUN)
Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)
Institut de Physique de Rennes (IPR)
Université de Rennes 1 (UR1)
Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Ecole Polytechnique de l'Université de Nantes (EPUN)
Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Université de Rennes (UR)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :: Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique (JNRDM), Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique (JNRDM), May 2008, Bordeaux, France, HAL
Publication Year :: 2008
Publisher :: HAL CCSD, 2008.

Subjects :: [PHYS.PHYS.PHYS-OPTICS]Physics [physics]/Physics [physics]/Optics [physics.optics]

Language :: English
Database :: OpenAIRE
Journal :: Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique (JNRDM), Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique (JNRDM), May 2008, Bordeaux, France, HAL
Accession number :: edsair.dedup.wf.001..01a085d73369b747870ff98b00e96b0f

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