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Schichten über Schichten

Authors :
Schaaf, Peter
Spieß, Lothar
Kups, Thomas
Romanus, Henry
Grieseler, Rolf
Hopfeld, Marcus
Wilke, Marcus
Stauden, Thomas
Lorenz, David
Fischer, Andreas
Source :
Vakuum in Forschung und Praxis; June 2011, Vol. 23 Issue: 3 p24-32, 9p
Publication Year :
2011

Abstract

Schichten und Beschichtungen sind mittlerweile eine unabdingbare Voraussetzung für eine Vielzahl von technischen Anwendungen für hochwertige Werkstoffe geworden. In diesem Beitrag werden beispielhaft hochwertige Beschichtungen für elektrisch leitende und optisch transparente Schichten für die Photovoltaik, Schichten für medizinische Elektroden, für Halbleiterkontakte und für Hochtemperaturkontakte vorgestellt. Die hierfür eingesetzten Verfahren sind das Magnetron‐Sputtern und die gepulste Laserdeposition. Der Einfluss der Beschichtungsparameter auf die funktionalen Eigenschaften werden vorgestellt.

Details

Language :
English
ISSN :
0947076X and 15222454
Volume :
23
Issue :
3
Database :
Supplemental Index
Journal :
Vakuum in Forschung und Praxis
Publication Type :
Periodical
Accession number :
ejs24580378
Full Text :
https://doi.org/10.1002/vipr.201100457