Mise en ?uvre de deux m?thodes interf?rom?triques pour la caract?risation m?canique des films minces par l'essai de gonflement. Applications au cas du silicium monocristallin

Holographic interferometry and contouring are two optical methods used to the characterization of mechanical properties of thin films. Therefore, a phase measurement interferometry applied to these methods is exposed. These solutions are discussed in terms of accuracy and sensibility. An application on a bulge test, widely used in micro-mechanic studies, is proposed and experimental results on single crystal silicon thin films are compared with finite element calculations. In each case, the good agreement between theory and experiments allows to valid the apparatus. Deux m?thodes optiques sont pr?sent?es, interf?rom?trie holographique en temps r?el et m?thode par projection de franges, appliqu?es ? la caract?risation m?canique des films minces. Ces deux m?thodes sont coupl?es ? l'interf?rom?trie par mesure de phase, ce qui permet d'acc?der au champ des d?placements en tous points de la membrane. Les solutions retenues sont discut?es en termes de pr?cision et de sensibilit?. Nous proposons l'application de ces m?thodes ? l'essai de gonflement de membrane, essai largement r?pandu dans les ?tudes de micro-m?caniques. Les mesures sont effectu?es sur du silicium monocristallin et les r?sultats sont compar?s aux solutions calcul?es par ?l?ments finis. Le bon accord entre th?orie et exp?riences valide les m?thodes et les dispositifs d?velopp?s.