In-situ-Messung von Bewegungsabweichungen serieller Rotationsachsen zur Anwendung in Nanomessmaschinen / In situ error measurement of serial rotational devices for the application in nano coordinate measuring machines.

Dieses Paper zeigt einen möglichen Aufbau zur in situ Messung der Positionierabweichung von seriell angeordneten Rotationseinheiten mit einem konstanten, gemeinsamen Momentanpol. Mit Hilfe dieses Aufbaus kann die Position des letzten Gliedes der kinematischen Kette in allen drei Raumachsen gemessen werden. Dazu wird der Abstand zu einer hemisphärischen Referenzfläche mit drei mitbewegten kartesisch angeordneten Fabry-Pérot-Interferometern gemessen. Diese Interferometer werden hinlänglich ihrer Eignung zur Messung auf einer gekrümmten Referenzfläche untersucht. Sie zeigen eine periodische Nichtlinearität von ±10nm und eine Positionswiederholbarkeit mit einer Standardabweichung von unter 1.6nm. This paper shows a possible setup for an in setup measurement of the position error of seriell rotational devices with constant instant centre of rotation. With the help of this setup the position of the last element in the kinematic chain can be measured in all three dimensions. Therefore the distance to a hemispherical reference area is measured by three Fabry-Pérot interferometers which are attatched to the last element of the kinematic chain. Those interferometers are analysed concerning their capability, to measure on a curved reference surface. They show a periodic nonlinearity of ±10nm and a standard deviation of the position repeatability of 1.6 nm. [ABSTRACT FROM AUTHOR]