Anwendungsorientiertes Verfahren zur Eindeutigkeitsbereichserweiterung eines fasergekoppelten Zweiwellenlängen-Interferometers Application-oriented procedure for the extension of the unambigous range for a fiber coupled dualwavelength interferometer

Eine charakteristische Einschränkung phasenmessender Interferometer zur Messung von Abstandsänderungen ist durch ihren auf eine halbe Lichtwellenlänge λ _i begrenzten Eindeutigkeitsbereich gegeben. Der Eindeutigkeitsbereich eines Laserinterferometers vergrößert sich, wenn zwei Laserlichtquellen unterschiedlicher Wellenlänge λ₁ ≠ λ₂ eingesetzt werden und das Interferenzsignal der resultierenden synthetischen Wellenlänge Λ = λ₁ · λ₂/| λ₁ − λ₂| ausgewertet wird. In diesem Beitrag wird ein Algorithmus zur Signalverarbeitung für Zweiwellenlängeninterferometer vorgestellt, der basierend auf einem Ansatz von P. de Groot den Eindeutigkeitsbereich über eine halbe synthetische Wellenlänge hinaus erweitert. Die Funktionalität und Praxistauglichkeit des Algorithmus wird am Beispiel der Auswertung von Messdaten eines fasergekoppelten, punktförmig messenden Zweiwellenlängeninterferometers mit optischer Weglängenmodulation demonstriert. A characteristic restriction of phase measuring interferometers for distance measurements is given by the limitation of their unambiguous range to a half wavelength λ _i. The unambiguous range of a laser interferometer is increased by using two different laser sources with wavelengths λ₁ ≠ λ₂ and evaluating the interference signal of the resulting synthetic wavelength Λ = λ₁ · λ₂/| λ₁ − λ₂|. In this contribution a signal processing algorithm for dual wavelength interferometry is proposed, that is based on an approach of P. de Groot and increases the unambiguous range beyond a half synthetic wavelength. Functionality and practicability of this approach are demonstrated by the evaluation of measurement data recorded by a point wise measuring dual wavelength interferometer with optical path length modulation. [ABSTRACT FROM AUTHOR]