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Your search keyword '"Hazart, Jérôme"' showing total 33 results
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33 results on '"Hazart, Jérôme"'

6. 3D resist reflow compact model for imagers microlens shape optimization

Author

Bérard-Bergery, Sébastien, primary, Hazart, Jérôme, additional, Henry, Jean-Baptiste, additional, Quéméré, Patrick, additional, Beylier, Charlotte, additional, Allouti, Nacima, additional, Cordeau, Maryline, additional, Eleouet, Raphaël, additional, Tomaso, Florian, additional, Ostrovsky, Alain, additional, and Rousset, Valérie, additional

Published
2019
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10. Advanced surface affinity control for DSA contact hole shrink applications

Author

Delachat, Florian, additional, Gharbi, Ahmed, additional, Pimenta Barros, Patricia, additional, Argoud, Maxime, additional, Lapeyre, Céline, additional, Bos, Sandra, additional, Hazart, Jérôme, additional, Pain, Laurent, additional, Monget, Cédric, additional, Chevalier, Xavier, additional, Nicolet, Célia, additional, Navarro, Christophe, additional, Cayrefourcq, Ian, additional, and Tiron, Raluca, additional

Published
2017
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18. High-efficiency device for focusing light to subwavelength dimensions

Author

Consonni, Marianne, Hazart, Jérôme, Lerondel, Gilles, VU VAN, Jean-Baptiste, Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique (LNIO), Institut Charles Delaunay (ICD), and Université de Technologie de Troyes (UTT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Technologie de Troyes (UTT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Subjects
[SPI.OPTI] Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic, [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic
Published
2013

19. Dispositif de focalisation de lumière à des dimensions sub-longueur d'onde à fort rendement

Author

Consonni, Marianne, Hazart, Jérôme, Lerondel, Gilles, Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique (LNIO), Institut Charles Delaunay (ICD), Université de Technologie de Troyes (UTT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Technologie de Troyes (UTT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), and VU VAN, Jean-Baptiste

Subjects
[SPI.OPTI] Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic, [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic
Abstract

The general field of the invention is that of devices for focusing light with sub-wavelength dimensions comprising at least one focusing structure comprising a metal film comprising a first aperture passing through the film and of dimensions of an order of magnitude that are smaller than the wavelength of use of the focusing device. In the devices according to the invention, the focusing structure comprises at least one optical cavity disposed on the aperture so that, when the structure is illuminated by an optical flux at the wavelength of use of the device, a significant part of this flux is concentrated on the aperture by said cavity. Several embodiments are described using various types of cavity that may comprise plasmon reflectors., Le domaine général de l'invention est celui des dispositifs de focalisation de lumière à des dimensions sub-iongueur d'onde comprenant au moins une structure de focalisation comportant un film métallique comportant une première ouverture traversant le film et de dimensions d'un ordre de grandeur inférieures à la longueur d'onde d'utilisation du dispositif de focalisation. Dans les dispositifs selon l'invention, la structure de focalisation comporte au moins une cavité optique disposée sur l'ouverture de façon que, lorsque la structure est éclairée par un flux optique à la longueur d'onde d'utilisation du dispositif, une partie importante de ce flux est concentrée sur l'ouverture par ladite cavité. Plusieurs modes de réalisation sont décrits utilisant différents types de cavité pouvant comporter des réflecteurs à plasmon.

Published
2010

20. Global optimization in inverse problem of scatterometry

Author

Afraites, Lekbir, Hazart, Jérôme, Schiavone, Patrick, Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Georgia Tech Lorraine [Metz], Ecole Nationale Supérieure des Arts et Metiers Metz-Georgia Institute of Technology [Atlanta]-Ecole Supérieure d'Electricité - SUPELEC (FRANCE)-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC), ANR-06-NANO-0056,LORS,Logiciel d'optimisation robuste et rapide pour la scattérométrie d'objets 3D nanométriques.(2006), Laboratoire des technologies de la microélectronique ( LTM ), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 ( UJF ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information ( CEA-LETI ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives ( CEA ) -Université Grenoble Alpes [Saint Martin d'Hères], Georgia Tech - CNRS [Metz] ( UMI2958 ), Ecole Nationale Supérieure des Arts et Metiers Metz-SUPELEC-Georgia Institute of Technology [Atlanta]-Georgia Tech Lorraine-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université de Franche-Comté ( UFC ), ANR-06-NANO-0056,LORS,Logiciel d'optimisation robuste et rapide pour la scattérométrie d'objets 3D nanométriques. ( 2006 ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Ecole Supérieure d'Electricité - SUPELEC (FRANCE)-Georgia Institute of Technology [Atlanta]-CentraleSupélec-Ecole Nationale Supérieure des Arts et Metiers Metz-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Schiavone, Patrick, and Programme National en Nanosciences et Nanotechnologies (PNANO) - Logiciel d'optimisation robuste et rapide pour la scattérométrie d'objets 3D nanométriques. - - LORS2006 - ANR-06-NANO-0056 - PNANO - VALID

Subjects
[ MATH.MATH-OC ] Mathematics [math]/Optimization and Control [math.OC], Kriging, Global Optimization, [SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, Inverse problem, [MATH.MATH-OC] Mathematics [math]/Optimization and Control [math.OC], [ SPI.NANO ] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, [MATH.MATH-OC]Mathematics [math]/Optimization and Control [math.OC], [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, scatterometry
Abstract

International audience; In the current work, we consider the inverse problem in scatterometry which consists in determining the feature shape from an experimental ellipsometric signature. The reformulation of the given nonlinear identification problem was considered as a parametric optimization problem using the Least Square criterion. In this work, a design procedure for global robust optimization is developed using Kriging and global optimization approaches. Robustness is determined by Kriging model to reduce the number of real functional calculations of Least Square criterion. The technical of the global optimization methods is adopted to determine the global robust optimum of a surrogate model.

Published
2009

21. Towards the Synthesis of Plasmonic nano_Structures by means of Stochastic Optimization

Author

Macías, Demetrio, Vial, Alexandre, Barchiesi, Dominique, Lerondel, Gilles, Derouard, Marianne, Hazart, Jérôme, VU VAN, Jean-Baptiste, Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique (LNIO), Institut Charles Delaunay (ICD), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Technologie de Troyes (UTT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Technologie de Troyes (UTT), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information (CEA-LETI), Université Grenoble Alpes (UGA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Université de Technologie de Troyes (UTT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Technologie de Troyes (UTT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), and Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA))

Subjects
[SPI.ELEC]Engineering Sciences [physics]/Electromagnetism, [SPI.ELEC] Engineering Sciences [physics]/Electromagnetism, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Abstract

International audience

Published
2008

22. Surface plasmon interference printing in a photosensitive azo-dye polymer film

Author

Derouard, Marianne, Hazart, Jérôme, Lerondel, Gilles, Bachelot, Renaud, STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique (LNIO), Institut Charles Delaunay (ICD), Université de Technologie de Troyes (UTT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Technologie de Troyes (UTT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), and VU VAN, Jean-Baptiste

Subjects
[SPI.OPTI] Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic, [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Abstract

International audience

Published
2007

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