1. Bulk Charging of Dielectric Films by Low Energy Electrons
- Author
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Vladimir Saenko, Evgenii D. Pozhidaev, Andrey Tyutnev, A. F. Akkerman, and G. S. Mingaleev
- Subjects
Low energy ,Chemistry ,Electric field ,Irradiation ,Dielectric ,Electron ,Atomic physics ,Condensed Matter Physics ,Electronic, Optical and Magnetic Materials - Abstract
Accumulation of space charges in metallized dielectric films irradiated by electrons of 30 to 65 keV energy is investigated using quasistationary approximation. Time dependent profiles of space charges and associated electric fields are calculated by numerical methods. There is a satisfactory agreement between theoretical and experimental data in initial stages of the charging process. Es wird die Akkumulation von Raumladungen in metallisierten, dielektrischen Schichten, die mit Elektronen von 30 bis 65 keV bestrahlt werden, mit der quasistationaren Naherung untersucht. Zeitabhangige Profile der Raumladungen und damit verknupften elektrischen Felder werden numerisch berechnet. Es existiert eine befriedigende Ubereinstimmung zwischen theoretischen und experimentellen Werten im Anfangszustand des Aufladungsprozesses.
- Published
- 1982
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