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4 results on '"Eric Imbernon"'

3. Pixel device based on a quantum well: Preliminary results on gate dielectrics

Author

Geraldine Hallais, Charles Renard, Antoine Barbier, Eric Imbernon, Nicolas Fourches, Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), Université Paris-Saclay-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire Nano-Magnétisme et Oxydes (LNO), Service de physique de l'état condensé (SPEC - UMR3680), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Rayonnement Matière de Saclay (IRAMIS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (LAAS-TEAM), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT), Département d'Electronique, des Détecteurs et d'Informatique pour la Physique (ex SEDI) (DEDIP), Institut de Recherches sur les lois Fondamentales de l'Univers (IRFU), and Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay

Subjects
Gate oxides, Nuclear and High Energy Physics, Quantum-well, Particle physics, Pixel, Pixel detector, [PHYS.PHYS.PHYS-INS-DET]Physics [physics]/Physics [physics]/Instrumentation and Detectors [physics.ins-det], Instrumentation, MOS transistors
Abstract

International audience; The development of pixel arrays close to the interaction point in large detector systems used in high energy physics require high radiation hardness for the pixels and their readout. A pixel device based on a quantum well, called the DoTPiX uses a sensing n-channel MOS device with a control gate. A buried Ge layer acts as a current modulation gate, which localize holes generated by impinging particles. The DotPIX buried Ge gate is obtained by low temperature epitaxial growth of Ge on Si. We have started to study the different ways to achieve these prerequisites: the need for a low temperature budget to reduce the Ge and Si intermixing, which may be detrimental to the DoTPiX operation. The use of Si thermal oxide is investigated together with that of deposited oxide (Hafnium Oxide for example), which differs from the Silicon Dioxide. The possibility of a combination of thermal silicon dioxide and deposited oxides opens another possibility in this study.

Published
2023

4. Lateral Porous Silicon Interferometric Transducer for Sensing Applications

Author

Adrian Laborde, Thierry Leichle, Yingning He, Xavier Dollat, Ludovic Salvagnac, Douglas Silva de Vasconcellos, David Bourrier, Eric Imbernon, Véronique Bardinal, Équipe Microsystèmes électromécaniques (LAAS-MEMS), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, Équipe MICrosystèmes d'Analyse (LAAS-MICA), Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (LAAS-TEAM), Service Instrumentation Conception Caractérisation (LAAS-I2C), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT), and ANR-17-CE09-0024,LabPSi,Membranes de silicium poreux latérales comme solution générique de préparation d'échantillon et biodétection pour les laboratoires sur puce(2017)

Subjects
Microscope, Materials science, business.industry, 010401 analytical chemistry, 02 engineering and technology, 021001 nanoscience & nanotechnology, Porous silicon, 01 natural sciences, Signal, 0104 chemical sciences, law.invention, Interferometry, [SPI]Engineering Sciences [physics], Transducer, Interference (communication), law, Optoelectronics, 0210 nano-technology, business, Biosensor, Refractive index
Abstract

International audience; In this work, we demonstrate the transducing ability of lateral porous silicon membranes (LPSi) using optical interferometry. To this aim, we carry out Fourier-transform infrared spectroscopy measurements using a microscope equipped with an appropriate objective in order to overcome the difficulty to obtain interference signal from LPSi membranes with small dimensions. Reflectance spectra are recorded while filling the membrane with various solvents and their analysis provide estimations of the effective optical thicknesses and the resulting index of refraction of the fillers in the NIR range. The results show that the various solvents can appropriately be identified and discriminated through the derived refractive indices, thus providing a proof-of-concept of the LPSi interferometric transducer.

Published
2018

Catalog

Books, media, physical & digital resources
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