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Mestrado em Sistemas Energéticos Sustentáveis Neste trabalho pretende-se comparar filmes finos de Cu2ZnSnSe4, depositados por evaporação a vácuo e por pulverização catódica RF com magnetrão, usando precursores metálicos com camadas diferentes e selenizados a diferentes temperaturas. O estudo da estrutura, composição e morfologia dos filmes foi efetuado usando SEM/EDS, espectroscopia Raman e difração de raios-X. Os resultados obtidos comprovam a presença de Cu2ZnSnSe4 nos filmes depositados, sendo os melhores resultados obtidos para filmes para temperaturas de selenização mais elevadas e utilizando precursores com camadas de selénio depositadas antes e depois das camadas de cobre, zinco e estanho. The objective of this work is to compare Cu2ZnSnSe4 thin films deposited by evaporation and RF magnetron sputtering, utilizing metallic precursors with different layers and selenized at different temperatures. The study of the film’s structure, composition and morphology was performed by SEM/EDS measures, Raman spectroscopy and X-ray diffraction. The results prove the presence of Cu2ZnSnSe4 in the thin films, with better films for higher selenization temperatures and for films using precursors with selenium layers below and above the layers of copper, zinc and tin.