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A computed laminography system with a simple scan procedure has been developed for inspection of large or flat objects using X-rays. By this nwe laminographic method only a linear translation of the obfect is necessary. Both the X-ray source and the detector remain stationary. From digital projections object cross-sections are reconstructed by using well-known algorithms. Examples show that cross-sections wiht good resolution are obtained due to reconstruction technique.

Medizinische und industrielle CT-Anlagen benutzen diskrete, impulszählende oder stromintegrierende Röntgendetektoren, die in einer Linie oder einem Kreissegment angeordnet sind. Die CT-Systeme liefern Abbildungen der röntgenographischen Dichteverteilung von Querschnitten mit Auflösungen bis maximal einige o,1 mm. Werkstoffe und Bauteile der Mikrotechnik benötigen jedoch zfP-Verfahren mit einer geometrischen Auflösung deutlich besser als 100 fm. Spezielle hochauflösende CT-Systeme sind erforderlich für den Nachweis und die Auflösung von derart kleinen Fehlern in mikromechanischen und mikroelektronischen Bauteilen und im Werkstoffgefüge. Im folgenden werden einige wesentliche Aspekte der hochauflösenden CT vorgestellt.

In der Werkstoffpruefung gehoert die hochaufloesende Durchstrahlung mit Mikrofokusroentgenanlagen zum Stand der Technik. Da flaechige Fehler in der Durchstrahlungspruefung aber nur dann erkannt werden, wenn sie sich in Durchstrahlungsrichtung erstrecken, soll in diesem Projekt ein hochaufloesendes roentgencomputertomographisches System zur Rekonstruktion von Fehlstellen mit einer Mikrofokusanlage als Quelle entwickelt werden. Der vorliegende Bericht beschreibt die I. Phase des Projektes, in der erste Querschnittsrekonstruktionen von Proben mit dem im IzfP vorhandenen System durchgefuehrt wurden. Das System besteht aus einer Mikrofokusanlage, einem rechnergesteuerten Drehtisch, einem Bildverstaerker, einer Videokamera, einem Compulog-Bildverarbeitungssystem mit angeschlossenem Rechner PDP 11/34 zur Aufnahme der Projektionen und Wiedergabe der rekonstruierten Querschnitte. Die Rekonstruktion erfolgt off-line auf der Vax 11/785. (IZFP)