1. Разработка и применение компонентов МЭМС
- Author
-
Levitskiy, Alexey A. and Marinushkin, Pavel S.
- Subjects
microgyroscopes ,SCREAM-технология ,pedestrian navigation ,пешеходная навигация ,microelectromechanical resonators ,микрогироскопы ,inertial navigation ,microelectromechanical systems (MEMS) ,навигация ,SCREAM technology ,микроэлектромеханические системы (МЭМС) ,микроэлектромеханические резонаторы - Abstract
This article provides the results of the MEMS (MicroElectroMechanical Systems) components studies. The design considerations and manufacturing techniques of the silicon-based MEMS components are considered. Results of the experimental characterization of the fabricated prototypes are provided. Furthermore, discussion related to the future development of the MEMS components is also presented Представлены результаты исследований, связанных с созданием компонентов микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассмотрены конструктивные варианты и технологии изготовления компонентов МЭМС на базе кремниевых микроструктур. Обсуждаются результаты исследований экспериментальных образцов. Рассмотрены пути дальнейшего развития исследований по созданию перспективных компонентов МЭМС
- Published
- 2015