1. Investigation of the Surface Reconstruction and Gas Phase Composition during Growth by MOVPE
- Author
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Maßmeyer, Oliver Peter and Volz, Kerstin (Prof. Dr.)
- Subjects
decomp ,Massenspektrometrie ,MOVPE ,MOCVD ,metallorganische Gasphasenepitaxie ,Reflektionsanisotropiespektrosko ,Oberflächenrekonstruktion ,Halbleiterphysik ,gas phase composition ,semiconductor physics ,Physik ,mass spectrometry ,Metallorganic CVD ,surface reconstruction ,reflection anisotropy spectroscopy ,RAS ,metallorganische Präkusoren ,Zerlegung ,Gasphasenzusammensetzung ,Physics ,ddc:530 - Abstract
Metal organic vapor phase epitaxy (MOVPE) plays an important role in the fabrication of optoelectronic devices based on III-V semiconductor materials such as telecommunications lasers, light emitting diodes, highly efficient solar cells or high frequency devices on an industrial scale. Even though the technique has been largely established since its invention in the 1960s, there are still many remaining questions to understand the physics of this deposition technique. This is caused by the complexity of the underlying thermodynamics, kinetics and hydrodynamics, resulting in a more phenomenological understanding of the epitaxial growth process. Nevertheless, the MOVPE technique is applicable for the realization of novel metastable materials paving the way for inventions in terms of new devices and device optimization. One promising approach is the use of ‘dilute nitrides’ and ‘dilute bismides’ based on the gallium arsenide (GaAs) host material for an improvement of the practicability and the energy efficiency of the currently used devices to make a small contribution to solve environmental problems such as global warming. ‘Dilute bismides’ show the capability to decrease the energy consumption of laser diodes used for the telecommunication across the internet by light emission at 1.3 µm and 1.55 µm through glass fibers. The higher predicted efficiency of ‘dilute bismides’ is based on the prevention of internal loss mechanisms in the active region of the laser devices which are limiting the efficiency of the currently used (Ga,In)(As,P) laser diodes. Likewise, the ‘dilute nitride’ material family is discussed as potential candidate for highly efficient telecommunication lasers. Here material combinations such as (Ga,In)(N,As) are discussed, due to a potentially higher efficiency, a better thermal stability and the possibility to fabricate these laser structures on the well-established GaAs substrates. Besides this, the ‘dilute nitrides’ are discussed for application as highly efficient solar cells that are promising in terms of renewable energy. Here material combinations such as (Ga,In)(N,As), Ga(N,As,Sb) or Ga(N,As,Bi) are discussed as a layer in a multi-junction solar cell concept to improve the conversion efficiency of the junction responsible for absorption of sun light with a wavelength between 1.1 µm and 1.4 µm. An increase to conversion efficiencies over 50 % could make the multi-junction solar cells more competitive with respect to Si-based solar cells in terms of cost efficiency. However, the fabrication of these devices by MOVPE with respect to the desired material composition, structural quality and purity is a current challenge. In this work a small contribution towards the possible realization of improved devices and towards a more detailed physical understanding of the related processes during growth is presented. This covers in the first part the investigation of surface structure of ‘dilute nitrides’ and ‘dilute bismides’ on an atomic scale by reflection anisotropy spectroscopy (RAS). The RAS technique is used for in-situ analysis of the arising surface reconstructions of Ga(As,Bi) and Ga(N,As) layers during the growth by MOVPE. For the Ga(N,As) material system, this study includes the investigation of the already established nitrogen precursors 1,1 di methyl hydrazine (UDMHy) and the newly synthesized di tert butyl amino arsane (DTBAA) precursor. The initial point of these investigations is focused on the analysis of the GaAs host material. For a simple nitridation of the GaAs (001), surface both precursors show a different influence on the surface reconstruction. The supply of UDMHy to the GaAs (001) surface produced a strong change of the surface structure from the As rich c(4×4)β surface reconstruction to the more Ga- or N rich (2×6)/(6×6) surface reconstruction. Compared to this, the supply of DTBAA showed no strong modulation of the As rich c(4×4)β surface. In contrast to UDMHy, the inbuilt additional As supply by DTBAA caused a stabilization of the given c(4×4)β surface. During the growth of Ga(N,As), by additional supply of tert butyl arsane (TBAs) and tri ethyl gallium (TEGa), the surface reconstruction changes to a more Ga or N rich (2×6)/(6×6) surface structure, independent from the choice of the N precursor and the underlying surface reconstruction. The latter was investigated by the growth of a Ga(N,As) layer on a prepared (2×4) reconstructed GaAs (001) surface. Based on the Ga(N,As) results, atomically abrupt Ga(N,As) layers with high N contents of presumably up to 16 % were realized by using different gas switching sequences in the growth process. These studies are of fundamental interest concerning the modification of the type-II transitions in W-type laser structures based on the Ga(N,As) and Ga(As,Sb) material systems. In case of the Ga(As,Bi) material system, similar experiments were carried out starting with the influence of the tri methyl bismuth (TMBi) precursor on the GaAs (001) surface structure. As expected from the behavior of Bi to float on the growth surface without being incorporated, the supply of TMBi caused the As rich c(4×4)β surface reconstruction to change presumably to a (4×3) surface reconstruction. This change of the surface reconstruction was directly related to the Bi surface coverage, which is an essential step for the realization of homogenous Ga(As,Bi) layers. The created Bi terminated surface was extensively studied in terms of the thermal stability, stability towards changes of the environmental conditions and its formation time. The addition of TBAs and TEGa for the growth of Ga(As,Bi) caused the surface reconstruction to further change to a Bi containing c(4×4)β surface reconstruction. Furthermore, the surface reconstruction was found to be very sensitive to variations of the TBAs/TEGa gas phase ratio, underlying former findings of a small growth window for the growth of Ga(As,Bi) on GaAs. Additional experiments on prepared (2×4) GaAs (001) surfaces showed that the Ga(As,Bi) surface structure is adopting to the underlying surface reconstruction during growth. For both material systems, further analysis of the surface morphology and material composition was done by post growth investigation with atomic force microscopy (AFM) and high-resolution X ray diffraction (HR-XRD). The compositional analysis gives evidence that the N incorporation is favored on more Ga rich surfaces like the (2×4) surface reconstruction and that Bi incorporation is enhanced on the more As rich c(4×4)β surface reconstruction compared to the (2×4) surface reconstruction. The second part of this thesis covers the real time analysis of the gas phase composition during the deposition of III-V semiconductor with focus on decomposition studies of the novel nitrogen precursors DTBAA, di tert butyl amino phosphane (DTBAP) and di tert butyl arsenyl di methyl hydrazine (DTBADMHy). As a general overview the decomposition temperature and decomposition reactions of the investigated precursors were studied independently to analyze the unimolecular decomposition reactions in the used horizontal AIXTRON AIX 200 MOVPE reactor. Besides the investigation of the novel N precursors, this includes the analysis of the unimolecular decomposition reactions of the group III precursors tri methyl gallium (TMGa), TEGa, tri tert butyl gallium (TTBGa) and the group V precursors TMBi, TBAs, tert butyl phosphane (TBP) and UDMHy. The decomposition reactions of these precursors show comprehensively a good agreement to formerly published decomposition data and proof the reliability of the measurements done with this ion trap setup. Very beneficial was the investigation of all these precursors under comparable experimental conditions in the same MOVPE reactor system, which resulted in a good data base for future investigations with this setup. The decomposition studies of the novel N precursors are of even more relevance, since growth studies with these precursors showed the simultaneous incorporation of N and As from the precursors and highlighted promising N incorporation characteristics for growth of ‘dilute nitrides’ at temperatures below 500 °C. The DTBAA, DTBAP and DTBADMHy precursor all exhibit a direct N-As or N-P bond, which was found to be dissociated in the first step of the decomposition reaction under formation of aminyl radicals (NH2•). These radicals are believed to be responsible for N incorporation and lead to a limitation of the N incorporation at higher temperature due to the formation of the thermally very stable ammonia (NH3). The As or P incorporation is connected to the decomposition of larger As or P compounds formed in the first bond homolysis or heterolysis step. These larger compounds were identified as di tert butyl arsane (DTBAs•) or di tert butyl phosphane (DTBP•). Based on the unimolecular decomposition experiments the investigation of the gas phase during the growth of GaAs, GaP and GaN was investigated. The occurring bimolecular reactions were most extensively studied for the precursor combination of TBAs and the Ga precursors TMGa, TEGa and TTBGa during the growth of GaAs. This study showed a strong influence of the decomposed Ga precursor on the TBAs decomposition. Here the decomposition temperature of TBAs was reduced down to the decomposition temperature of the respective Ga precursor. This is believed to occur due to a catalytic effect of the decomposed Ga precursor on the decomposition of the TBAs leading to a reduction of the decomposition temperature of TBAs from 350 °C down to 160 °C in combination with TTBGa. This catalyzed decomposition of TBAs is especially interesting for low temperature growth of GaAs based materials. The further studies of the bimolecular decomposition of TBAs with TEGa were carried out for different gas phase ratios of TBAs/TEGa between 0.5 to 10 and by a more detailed analysis of the decomposition products, utilizing the selective removal of the trapped ions with stored wave inverse Fourier transformation (SWIFT) from the ion trap. These results show evidence for an alkyl exchange reaction to be included in the catalyzed bimolecular decomposition. The very same experiments were carried out for the bimolecular reactions between TBP and the Ga precursors during growth of GaP. Similarly, a strong reduction of the decomposition temperature of TBP by the addition of the Ga precursors was shown. However, the decomposition temperature is determined about 50 °C higher compared to the decomposition of the Ga sources. This shows that the C-P as well as the alkyl groups of the Ga precursor have to be involved in the decomposition reaction, supporting the proposed alkyl exchange reactions. The last experiments were carried out to show the investigation of adduct formation during epitaxial growth. For the precursor combinations of UDMHy with TMGa and TEGa, adduct formation is predicted, but only indirectly proven in literature. The analysis of these bimolecular reactions with the novel ion trap setup proves the formation of larger adducts such as (CH3)2NN[(CH3)2Ga]2NN(CH3)2, which already form at room temperature for the combination of UDMHy and TMGa. Analogue formation of (CH3)2NN[(C2H5)2Ga]2NN(CH3)2 is supposed for UDMHy and TEGa. Altogether, the analysis of the surface structure and the gas phase composition during growth by MOVPE has led to new insights in the deposition of III-V semiconductors with focus on novel material systems such as ‘dilute bismides’ and ‘dilute nitrides’. Both analysis techniques, the surface analysis by RAS and the gas phase analysis by mass spectrometry turned out to be very powerful for a direct feedback during the MOVPE process. The application and understanding of these techniques should be expanded to arising novel material systems. Especially, the analysis of ternary or quaternary compound semiconductors or of novel 2D materials would be desired, as these will presumably drive new applications in this field., Die metallorganische Gasphasenepitaxie (metal organic vapor phase epitaxy, MOVPE) hat eine wichtige Rolle als Herstellungsmethode der III-V-Halbleitermaterialien für optoelektronische Anwendungen inne. Dies beinhaltet unter anderem die Herstellung von Telekommunikationslasern, Leuchtdioden, hocheffizienten Solarzellen und Hochfrequenz-bauteilen im industriellen Maßstab. Obwohl sich die MOVPE als Abscheidungsmethode für Halbleitermaterialien seit ihrer Entdeckung und Entwicklung in den 1960er Jahren weitreichend etabliert hat, sind immer noch viele fundamentale Fragen über die grundlegenden physikalischen Effekte des Wachstumsprozesses ungeklärt. Dies liegt in der Komplexität der korrekten Beschreibung der auftretenden thermodynamischen, kinetischen und hydrodynamischen Effekte begründet und resultiert in einer eher phänomenologischen Beschreibung des epitaktischen Wachstumsprozesses. Dennoch dient die MOVPE zur Herstellung von neuen metastabilen Materialien, die eine Grundlage für die Erfindung und Optimierung von neuartigen Bauelementen bilden. Eine Herangehensweise ist der Einsatz von verdünnt stickstoff- und verdünnt bismuthaltigen Materialien, die auf den III-V-Halbleitern Galliumarsenid (GaAs) und Galliumphosphid (GaP) basieren. Diese Materialien sind vielversprechend, um einen kleinen Beitrag zu aktuellen Themen wie der Verlangsamung der globalen Erwärmung beizutragen, indem zum Beispiel die Energieeffizienz der heutzutage genutzten Telekommunikationslaser verbessert wird. Die verdünnt bismuthaltigen Materialien zeigen das Potential, den Energieverbrauch der Laserdioden, die für den Datentransfer im Internet mit Emissionswellenlängen von 1.3 µm and 1.55 µm genutzt werden, drastisch zu reduzieren. Die weit höhere theoretische Effizienz der verdünnt bismuthaltigen Materialien im Vergleich zu den zur Zeit genutzten (Ga,In)(As,P) Laserdioden liegt in der Unterdrückung von internen Verlustprozessen begründet, welche die Effizienz der (Ga,In)(As,P)-Laserdioden drastisch senkt. Des Weiteren werden die verdünnt stickstoffhaltigen Materialien als potentielle Lösung für effizientere Telekommunikations-laser diskutiert. Hier könnte das (Ga,In)(N,As) Materialsystem große Vorteile im Hinblick auf die thermische Stabilität der Laserstrukturen liefern. Zusätzlich können die Laserstrukturen auf Basis des gut erforschten GaAs Materialsystems hergestellt werden und somit im Gegensatz zur Herstellung der (Ga,In)(As,P) Laserdioden auf InP-Basis von einer fortschrittlicheren technologischen Umsetzung profitieren. Neben der Anwendung als Lasermaterial werden die verdünnt stickstoffhaltigen Materialien zur Realisierung von hocheffizienten Solarzellen im Kontext der erneuerbaren Energien diskutiert. In diesem Zusammenhang könnten Materialkombinationen wie (Ga,In)(N,As), Ga(N,As,Sb) oder Ga(N,As,Bi) Anwendung in sogenannten Mehrfachsolarzellen finden. Die genannten Materialien könnten in diesem Konzept die Solarzellenschicht für die effiziente Absorption des Sonnenlichts im Wellenlängenbereich zwischen 1.1 µm and 1.4 µm verbessern, wodurch theoretische Umwandlungswirkungsgrade von über 50 % erreicht werden könnten. Dieser Wirkungsgrad sollte ausreichen, um im Preis-Leistungs-Vergleich in Konkurrenz zu der Silizium basierten Solarzellentechnologie zu treten. Die Herstellung der genannten neuartigen Materialien konnte allerdings noch nicht mit der notwendigen Materialzusammensetzung sowie ausreichender struktureller Qualität und Reinheit realisiert werden und ist daher ein Thema der aktuellen Forschung. Diese Arbeit soll mit einem kleinen Anteil zu der Realisierung der Anwendung dieser neuartigen Materialen beitragen und das grundlegende Verständnis zum epitaktischen Wachstum mittels MOVPE verbessern. Im ersten Teil dieser Untersuchungen wurde dazu die Oberflächenstruktur von verschiedenen verdünnt stickstoffhaltigen und verdünnt bismuthaltigen Schichten mit der Reflektionsanisotropiespektroskopie (reflection anisotropy spectroscopy, RAS) analysiert. Die RAS diente dabei zur in-situ Analyse der beim epitaktischen Wachstum von Ga(As,Bi)- und Ga(N,As)-Halbleiterschichten auftretenden Oberflächenrekonstruktionen, welche Rückschlüsse auf die Anordnung der Atome auf der Halbleiteroberfläche ermöglicht. Für die Untersuchung von Ga(N,As) wurde dazu der Einfluss des bereits etablierten 1,1 di methyl hydrazin (UDMHy) Präkursors und des neuartigen di tert butyl amino arsan (DTBAA) Präkursors auf die Oberflächenstruktur des Halbleiters GaAs untersucht. Die Zugabe von UDMHy auf die GaAs (001) Oberfläche resultierte in einer signifikanten Änderung der Oberflächenrekonstruktion von der arsenreichen c(4×4)β Oberfläche hin zu einer gallium- oder stickstoffreichen (2×6)/(6×6) Oberfläche. Im Vergleich dazu zeigte der analoge Prozess mit DTBAA eine Stabilisierung der arsenreichen c(4×4)β Oberflächenrekonstruktion aufgrund der intrinsischen Bereitstellung von Arsen des Präkursors. Während des Wachstums von Ga(N,As) durch die Zugabe von tert butyl arsan (TBAs) und tri ethyl gallium (TEGa) zeigte sich unabhängig vom verwendeten Stickstoffpräkursor und unabhängig von der Ausgangskonfiguration der unterliegenden GaAs Oberfläche ein Übergang zu der gleichen gallium- oder stickstoffreichen (2×6)/(6×6) Oberflächenrekonstruktion. Die Unabhängigkeit von der Ausgangsoberfläche wurde durch das Wachstum einer Ga(N,As) Schicht auf einer speziell präparierten (2×4) GaAs Oberfläche untersucht. Auf der Grundlage dieser Ergebnisse wurden atomar abrupte Ga(N,As) Zwischenschichten auf GaAs mittels verschiedener Wachstumssequenzen mit einem vermutlichen Stickstoffeinbau von bis zu 16 % realisiert. Die Wachstumssequenzen basierten dabei auf den Erkenntnissen zu den Ga(N,As) Oberflächenrekonstruktionen, und der Epitaxie-Prozess konnte mittels RAS in situ überwacht werden. Die Experimente zu den Ga(As,Bi) Halbleiterschichten wurden analog dazu mit der Untersuchung des Einflusses des tri methyl bismut (TMBi) Präkursors auf die GaAs (001) Oberfläche begonnen. Wie von dem bereits bekannten Verhalten des Aufschwimmens von Bi auf der Wachstumsoberfläche zu erwarten war, zeigte sich ein starker Einfluss von Bi auf die Oberflächenstruktur. Die Zugabe von TMBi bewirkte eine Änderung von der arsenreichen c(4×4)β Oberfläche zu einer vermutlich bismuthaltigen (4×3) Oberfläche. Dieser Wechsel zwischen den Oberflächenrekonstruktionen konnte in direkten Zusammenhang mit der notwendigen Oberflächenbelegung mit Bi während des Wachstumsprozesses zur Realisierung von Ga(As,Bi) Schichten mit hoher kristalliner Qualität gebracht werden. Diese Bi-benetzte Oberfläche wurde weiter in Hinblick auf ihre thermische Stabilität, die Widerstandsfähigkeit gegen Änderungen der umgebenden Bedingungen und ihre Aufbauzeit analysiert. Die Hinzugabe von TBAs und TEGa, was das Wachstum von Ga(As,Bi) hervorruft, resultierte in einer weiteren Modulation der Oberflächenrekonstruktion zu einer Bi-benetzten c(4×4)β Oberfläche. Weiter zeigte die Ausbildung der Oberflächenrekonstruktion der Wachstumsoberfläche von Ga(As,Bi) ein sehr sensitives Verhalten auf Änderungen im Gasphasenverhältnis von TBAs/TEGa, was den sehr kleinen möglichen Wachstumsbereich von Ga(As,Bi) unterstreicht. Zusätzliche Experimente wurden auf vorher präparierten (2×4) GaAs Oberflächen durchgeführt. Diese zeigen, dass sich die Oberflächenrekonstruktion von Ga(As,Bi) der unterliegenden Oberflächenstruktur anpasst. Zur Untersuchung der ‘verdünnt stickstoff- und verdünnt bismuthaltigen Strukturen wurde außerdem die Oberflächenmorphologie mittels Rasterkraftmikroskopie (atomic force microscopy, AFM) und die Materialzusammen-setzung mittels hochauflösender Röntgenbeugung (high resolution X ray diffraction, HR XRD) analysiert. Die Analyse der Materialzusammensetzung zeigte, dass der Stickstoffeinbau in GaAs auf galliumreicheren Oberflächen wie der (2×4) Oberfläche bevorzugt ist, sowie, dass ein erhöhter Bismuteinbau in GaAs auf der arsenreicheren c(4×4)β Oberfläche gegeben ist. Im zweiten Teil der vorliegenden Doktorarbeit wurde ein neues Massenspektrometer zur Echtzeitanalyse der Gasphasenzusammensetzung während des Abscheidungsprozesses von III-V-Halbleitermaterialen eingesetzt. In diesem wurde die thermische Zerlegung der neuartigen Stickstoffpräkursoren DTBAA, di tert butyl amino phosphan (DTBAP) und di tert butyl arsenyl di methyl hydrazin (DTBADMHy) untersucht. Zur Analyse der Zerlegungstemperaturen und der Zerlegungsreaktionen dieser Präkursoren wurden diese Reaktionen zunächst unabhängig voneinander (unimolekular) in dem verwendeten AIXTRON AIX 200 MOVPE Reaktor untersucht. Diese Untersuchungen beinhalten neben den neuartigen Stickstoffpräkursoren DTBAA, DTBAP und DTBADMHy die Analyse der unimolekularen Zerlegung der Gruppe-III-Präkursoren tri methyl gallium (TMGa), TEGa, tri tert butyl gallium (TTBGa) und der Gruppe-V-Präkursoren TMBi, TBAs, tert butyl phosphane (TBP) und UDMHy. Die Zerlegungsreaktionen zeigen eine gute Übereinstimmung zu früheren Zerlegungsstudien und bestätigen dadurch die Praktikabilität und Verlässlichkeit des neuartigen Massenspektrometerkonzepts. Ein großer Vorteil dieser Studie ist die Untersuchung all dieser unimolekularen Reaktionen unter vergleichbaren Bedingungen im selben Reaktorsystem, wodurch eine gute Grundlage für weitere Zerlegungsstudien geschaffen wurde. Die neuen Zerlegungsstudien der genannten neuartigen Stickstoffpräkursoren ist von grundlegender Bedeutung, um das vorteilhafte Einbauverhalten dieser Präkursoren bei Wachstumstemperaturen unterhalb von 500 °C zu verstehen. Die Präkursoren DTBAA, DTBAP und DTBADMHy weisen alle eine direkte N-As beziehungsweise eine direkte N-P Bindung auf. Die Zerlegungsanalyse zeigte, dass diese Bindung sich als erster Schritt im Mechanismus der Homolyse oder Heterolyse unter Freisetzung von Aminylradikalen (NH2•) spaltet. Diese NH2• Radikale werden für den effizienten N-Einbau bei niedrigen Temperaturen sowie für die Limitierung des N-Einbaus bei hohen Temperaturen durch Bildung von NH3 verantwortlich gemacht. Der As- beziehungsweise P-Einbau hängt mit der Zerlegung der im ersten Reaktionsschritt gebildeten größeren Radikale di tert butyl arsan (DTBAs•) und di tert butyl phosphan (DTBP•) zusammen. Aufbauend auf der Untersuchung der unimolekularen Zerlegungsreaktionen wurde die Gasphasenzusammensetzung während des Wachstums von GaAs-, GaP- und GaN-Halbleitermaterialien analysiert. Die aufgetretenen bimolekularen Reaktionen wurden am ausführlichsten für die Präkursorkombinationen von TBAs mit TMGa, TEGa und TTBGa untersucht. Die entsprechenden Ergebnisse zeigen einen starken Einfluss der Ga-Präkusoren auf die Zerlegung des TBAs. Unter anderem wurde die Zerlegungstemperatur von TBAs bis auf die Zerlegungstemperatur der Ga Präkursoren herabgesetzt, was sich mit einem katalytischen Effekt der zerlegten Ga Präkursoren erklären lässt. Diese Katalyse reduziert die Zerlegungstemperatur des TBAs von 350 °C auf bis zu 160 °C bei Kombination mit TTBGa. Dieser Katalyseprozess ist besonders für das Wachstum von GaAs bei tiefen Temperaturen interessant. Weitere Zerlegungsexperimente wurden für verschiedene Gasphasenverhältnisse von TBAs/TEGa zwischen 0.5 und 10 durchgeführt. Hierbei wurden hochsensitive Messungen der Zerlegungsprodukte mittels selektivem Ionenauswurfs (stored wave inverse Fourier transformation, SWIFT) aus der Ionenfalle realisiert. Die Ergebnisse zeigten, dass ein Alkylaustausch als wichtiger Schritt in der katalytischen Zerlegung von TBAs und den Ga Präkursoren stattfindet. Passend dazu wurde der Einfluss der Ga Präkursoren während des Wachstums von GaP auf die Zerlegung von TBP untersucht. Analog zur TBAs Studie zeigte sich eine Reduktion der Zerlegungstemperatur des TBP durch die Katalyse mittels der bereits zerlegten Ga Präkursoren. Allerdings liegt die dabei bestimmte Zerlegungstemperatur durchschnittlich 50 °C höher als beim TBAs. Dies lässt sich erklären, wenn sowohl die vergleichsweise stärkere C-P Bindung des TBP als auch die Alkylgruppen der Ga Präkursoren in die Zerlegungsreaktion involviert sind, was die Idee des Alkylaustausches untermauert. Die abschließenden Experimente wurden in Hinblick auf die Analyse von Adduktreaktionen im Wachstumsprozess durchgeführt. Die Adduktbildung ist beispielsweise für die Präkursorkombinationen von UDMHy mit TMGa und TEGa vorhergesagt, konnte aber bisher nur indirekt überprüft werden. Die Analyse der entsprechenden bimolekularen Reaktionen in der Ionenfalle zeigte die Bildung von größeren Addukten wie (CH3)2NN[(CH3)2Ga]2NN(CH3)2 bei Raumtemperatur zwischen UDMHy und TMGa. Analog zeigte sich die Bildung von (CH3)2NN[(C2H5)2Ga]2NN(CH3)2 mit UDMHy und TEGa. Abschließend lässt sich sagen, dass die Analyse der Oberflächenstrukturen und der Gasphase während des Wachstumsprozesses mit MOVPE neue Einblicke in den Abscheidungsprozess von III-V-Halbleitern hervorgebracht hat, besonders im Hinblick auf die verdünnt stickstoff- und verdünnt bismuthaltigen Materialsysteme. Beide Analysemethoden, sowohl die Oberflächenanalyse mittels RAS als auch die Gasphasenanalyse mittels Massenspektrometrie, ermöglichten zusätzliche Einblicke in die auftretenden chemischen Reaktionen und eine direkte Kontrolle des Wachstumsprozesses. Zukünftig sollten die Anwendung und das Verständnis dieser Methoden auf neuartige Materialen angewendet werden. Besonders die Analyse von ternären, quaternären oder neuartigen 2D-Materialsystemen ist interessant, da diese vorrausichtlich die Grundlage für neuartige Anwendungen im Themengebiet der Halbleiter bilden.
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- 2021
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