1. The investigation of piezoresistive, optical and electrical properties of diamond like carbon films synthesized by ion beam deposition and PECVD
- Author
-
Meškinis, Šarūnas, Gudaitis, Rimas, Tamulevičienė, Asta, Kopustinskas, Vitoldas, Šlapikas, Kęstutis, Tamulevičius, Sigitas, Kauno technologijos universitetas, and Lietuvos mokslų akademija
- Subjects
piezoresistance ,optical properties ,Condensed Matter::Materials Science ,Physics::Plasma Physics ,diamond like carbon films - Abstract
In the present research ion energy effects on piezoresistive properties of hydrogenated diamond like carbon (DLC) films deposited by hydrocarbon ion beam deposition and radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) were studied. Comparative analysis of the influence of silicon oxide and silicon doping on gauge factor of DLC films was performed. Only weak dependence of piezoresistive properties of the DLC films deposited from acetylene gas by ion beam deposition using closed drift ion source on ion energy was observed and that was explained as a result of the competing effects of ion energy and ion/neutral ratio during the diamond like carbon film deposition process. In the case of PECVD deposited DLC films the dependence of gauge factor on substrate bias was observed. Doping by silicon and silicon oxide resulted in decrease of the DLC film gauge factor. Possible relations between the gauge factor of DLC films and their optical parameters such as optical bandgap, Urbach energy and B parameter were studied as well. It was found, that the gauge factor increases with the increased separation between valence and conduction π band in DLC films and/or decrease size of sp2 cluster as well as with the decrease of the topological disorder (range in which vary size of sp2 clusters) and/or density of sp2 states and ammount of sp2 bonded carbon phase. Resistivity of the investigated DLC films deposited by both methods decreased with the increase of the ion energy and no correlation between the piezoresistive properties of DLC films and their resistance was found. The observed behavior was explained by dependence of resistivity on hydrogen ammount in DLC films. Keywords: diamond like carbon films, piezoresistance, optical properties., Šiame darbe tirta jonų energijos įtaka hidrogenizuotų deimantiškųjų anglies dangų (DAD), susintetintų angliavandenilių jonų pluošteliu bei radijo dažnio plazma aktyvinto cheminio nusodinimo iš garų fazės būdu, pjezovaržinėms savybėms. Nagrinėtas legiravimo silicio oksidu bei siliciu poveikis DAD pjezovaržiniam keitimo veiksniui. Maža jonpluoštės sintezės būdu nusodintų DAD pjezovaržinių savybių priklausomybė nuo sintezei naudoto jonų pluoštelio energijos susijusi su konkuruojančia jonų energijos ir jonų bei neutraliųjų atomų santykio įtaka. Šiuo atveju bandinių keitimo veiksnys buvo 11-21, o plazma aktyvinto cheminio nusodinimo iš garų fazės būdu nusodintų DAD pjezovaržinės savybės priklausė nuo priešįtampio įtampos, kuri yra tiesiog proporcinga jonų energijai. Dangų, nusodintų naudojant –400V priešįtampį, didžiausias keitimo veiksnys buvo 41± 17. Ištyrus legiravimo siliciu ir silicio oksidu įtaką pjezovaržinėms DAD savybėms, nustatyta, kad tokio tipo legiravimas mažina pjezovaržinį keitimo veiksnį. 2% silicio legiruotų DAD keitimo veiksnys buvo 9,7± 1,28, o silicio oksido turinčių DAD pjezovaržinis keitimo veiksnys buvo 3,5-6. Šiame darbe taip pat tirta galima pjezovaržinių ir optinių DAD savybių (optinės draustinės juostos pločio, B parametro ir Urbacho energijos) tarpusavio koreliacija. Nustatyta, kad keitimo veiksnys didėja didėjant tarpui tarp valentinės ir laidumo p juostų DAD, sumažėjus sp2 klasterių matmenims bei topologinei netvarkai ir(arba) sp2 būsenų tankiui ir sp2 ryšiais sujungtų anglies atomų skaičiui. DAD savitoji varža mažėjo didėjant auginimui naudojamų jonų energijai. Jokios koreliacijos tarp deimantiškųjų anglies dangų pjezovaržinių savybių ir varžos nebuvo pastebėta. [...]
- Published
- 2010