1. Lateral Porous Silicon Interferometric Transducer for Sensing Applications
- Author
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Adrian Laborde, Thierry Leichle, Yingning He, Xavier Dollat, Ludovic Salvagnac, Douglas Silva de Vasconcellos, David Bourrier, Eric Imbernon, Véronique Bardinal, Équipe Microsystèmes électromécaniques (LAAS-MEMS), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, Équipe MICrosystèmes d'Analyse (LAAS-MICA), Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (LAAS-TEAM), Service Instrumentation Conception Caractérisation (LAAS-I2C), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT), and ANR-17-CE09-0024,LabPSi,Membranes de silicium poreux latérales comme solution générique de préparation d'échantillon et biodétection pour les laboratoires sur puce(2017)
- Subjects
Microscope ,Materials science ,business.industry ,010401 analytical chemistry ,02 engineering and technology ,021001 nanoscience & nanotechnology ,Porous silicon ,01 natural sciences ,Signal ,0104 chemical sciences ,law.invention ,Interferometry ,[SPI]Engineering Sciences [physics] ,Transducer ,Interference (communication) ,law ,Optoelectronics ,0210 nano-technology ,business ,Biosensor ,Refractive index - Abstract
International audience; In this work, we demonstrate the transducing ability of lateral porous silicon membranes (LPSi) using optical interferometry. To this aim, we carry out Fourier-transform infrared spectroscopy measurements using a microscope equipped with an appropriate objective in order to overcome the difficulty to obtain interference signal from LPSi membranes with small dimensions. Reflectance spectra are recorded while filling the membrane with various solvents and their analysis provide estimations of the effective optical thicknesses and the resulting index of refraction of the fillers in the NIR range. The results show that the various solvents can appropriately be identified and discriminated through the derived refractive indices, thus providing a proof-of-concept of the LPSi interferometric transducer.
- Published
- 2018