Ralf-Peter Braun, Iulia Dan, Pascal Szriftgiser, Shintaro Hisatake, Ingmar Kallfass, Guillaume Ducournau, Universität Stuttgart [Stuttgart], Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Photonique THz - IEMN (PHOTONIQ THz - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Laboratoire de Physique des Lasers, Atomes et Molécules - UMR 8523 (PhLAM), Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Horizon 2020, the European Union's Framework Programme for Research and Innovation [814523], National Institute of Information and Communications Technology in Japan (NICT), PCMP CHOP, European Project: 814523,H2020,H2020-EUJ-2018,ThoR (2018), Photonique THz - IEMN (PHOTONIQUE THz - IEMN), Gifu University, This work has received funding from Horizon 2020, the European Union’s Framework Programme for Research and Innovation, under grant agreement No. 814523. ThoR has also received funding from the National Institute of Information and Communications Technology in Japan (NICT). We express our gratitude to the colleagues at Fraunhofer Institute of Applied Solid-State Physics for MMIC manufacturing. We also thank the IEMN Nano-Microwave RF/MEMS characterization center and the IEMN-IRCICA Telecom platform facilities, and PCMP SigmaCom