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Zusammenfassung Terahertz- und Millimeterwellen sind gesundheitlich unbedenkliche elektro-magnetische Wellen im Bereich von 100–10.000 Gigahertz. Bei diesen Frequenzen sind die meisten nicht-leitfähigen Materialien transparent, sodass eine kontaktlose, zerstörungsfreie Prüfung der inneren Struktur moderner (Kunststoff-Komposite-) Werkstücke mit einer Orts- und Tiefenauflösung im Submillimeterbereich möglich ist. Die hier vorgestellte vollelektronische Technologie ermöglicht hochqualitative Bilder in einer extrem kurzen Messzeit.

Die Verwendung der THz-Strahlung bietet diverse Anwendungsmöglichkeiten für die Messtechnik, wie z.B. die hochgenaue berührungslose Bestimmung der Oberflächentopographie technischer Materialien. Interferometrische Methoden im Visuellen und nahen IR scheitern, wenn die mittleren Rautiefen der zu untersuchenden Oberflächen-Werte größer als ein Zehntel der benutzten Wellenlängen annehmen. Wir stellen zwei Methoden zur hochgenauen Formmessung technischer Oberflächen vor: THz-Dunkelfeld-Reflektometrie und THz-Heterodyn-Profilometrie.