Search

Your search keyword '"APPLIED PLASMA PHYSICS"' showing total 1 results
Start Over Descriptor "APPLIED PLASMA PHYSICS" Publisher vdi verlag
1 results on '"APPLIED PLASMA PHYSICS"'

1. Aufbringung von Siliziumschichten durch Plasma-CVD und Anwendung auf Beschichtungen in einer Plasma-Wirbelschicht

Author

Bayer, Christian and Rudolf von Rohr, Philipp

Subjects
CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, CVD (PRODUCTION ENGINEERING), ANGEWANDTE PLASMAPHYSIK, SILICON OXIDES (INORGANIC CHEMISTRY), EPITAXIALSCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN), APPLIED PLASMA PHYSICS, SILICIUMOXIDE (ANORGANISCHE CHEMIE), THIN LAYER FORMATION BY VAPORIZATION AND CONDENSATION (PHYSICS OF MOLECULAR SYSTEMS), CHEMISCHE BESCHICHTUNGEN AUS DER GASPHASE, CVD (PRODUKTIONSTECHNIK), Engineering & allied operations, ddc:620
Abstract

Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 3, Verfahrenstechnik, 534, ISBN:3-18-353403-7

Published
1998

Catalog

Books, media, physical & digital resources
See catalog results