Search

Die genannte Arbeit beschreibt die Entwicklung eines Mikromassenspektrometers in Mikrosystemtechnik. Es werden alle Komponenten des Massenspektrometers planar auf einem 7 x 10 mm² großen Chip aus Glas und Silizium gefertigt. Diese Arbeit befasst sich im Schwerpunkt mit der Prozessentwicklung der für die Herstellung notwendigen Prozesse sowie mit dem Einsatz einer Mico-Channel-Plate (MCP) in einer selbstjustierenden Halterung, die aus Silizium geätzt wird., This work describes the development of a micro-mass-spectrometer with the methods of microsystem technologies. All components of the mass spectrometer are combined in a planar design of a 7 x 10 mm² chip fabricated out of glass and silicon. This work focuses on the development of the MEMS fabrication and on the operation of a micro-channel-plate (MCP) in a self-aligning fixture structured out of silicon.

Die genannte Arbeit beschreibt die Entwicklung eines Mikromassenspektrometers in Mikrosystemtechnik. Es werden alle Komponenten des Massenspektrometers planar auf einem 7 x 10 mm² großen Chip aus Glas und Silizium gefertigt. Diese Arbeit befasst sich im Schwerpunkt mit der Prozessentwicklung der für die Herstellung notwendigen Prozesse sowie mit dem Einsatz einer Mico-Channel-Plate (MCP) in einer selbstjustierenden Halterung, die aus Silizium geätzt wird., This work describes the development of a micro-mass-spectrometer with the methods of microsystem technologies. All components of the mass spectrometer are combined in a planar design of a 7 x 10 mm² chip fabricated out of glass and silicon. This work focuses on the development of the MEMS fabrication and on the operation of a micro-channel-plate (MCP) in a self-aligning fixture structured out of silicon.