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En el presente trabajo se abordan los resultados del estudio de las películas delgadas de WO3 depositadas por la técnica de sputtering reactivo, desde el punto de vista de caracterización de la estructura cristalina y microestructura de las películas. Existen diferentes trabajos en los que se han sintetizado películas delgadas de WO3 por la técnica de sputtering y donde se han evaluado sus propiedades eléctricas, ópticas o de sensado de gases; sin embargo, se han reportado en estos trabajos diferentes estructuras cristalinas, aunque el método de síntesis sea el mismo. La variación de los parámetros de sputtering o de tratamiento térmico puede generar diferencias en sus estructuras y por lo tanto diferencias a la hora de evaluar las propiedades físicas de las películas. Las películas sintetizadas por sputtering reactivo fueron sometidas a tratamientos térmicos sucesivos con el fin de obtener la estructura cristalina Ortorrómbica, durante estos tratamientos fueron encontradas dos estructuras cristalinas de diferentes simetrías, Krasnogorite y β – WO3, las cuales fueron analizadas a detalle mediante difracción de rayos X y modelado de sus estructuras por medio de Powder Cell, para determinar sus diferencias. Se caracterizó la película β – WO3 por medio de microscopia de barrido observando una microestructura predominante compuesta por granos alargados y un espesor de la película de 141 nm, el análisis de micro composición mostro una película sin rastro de contaminación de otros elementos. La superficie de la película presento una rugosidad media baja, 2.7 nm, la cual fu resultado de los tratamientos térmicos sucesivos. Se caracterizó la película β – WO3 por microscopia electrónica de transmisión para describir crecimiento de los cristales dentro de la película delgada, donde se utilizaron las técnicas de alta resolución, difracción de electrones, campo claro y campo oscuro, que en conjunto con tratamiento digital de las imágenes obtenidas, dieron como resultado poder definir el plano de crecimiento (002) de los cristales de la fase β – WO3 y conocer su morfología, estos cristales crecen de forma columnar desde el sustrato hasta la superficie de la película. Para concluir con la descripción del crecimiento de los cristales de β – WO3, se diseñó un modelo empírico en base a las observaciones realizadas por microscopia electrónica de transmisión.