Search

Объект исследования – антиэмиссионное покрытие пиролитического углерода. Цель работы – разработка технологии получения пиролитического углерода в качестве антиэмиссионного покрытия. Работа включает в себя теоретическое описание компонентов электровакуумных приборов, подробный разбор существующих методов нанесения покрытий, их сравнительные характеристики и особенности. Также в работе описана физика процесса ионно-плазменного напыления, представлена и подробно описана технология формирования покрытия из пиролитического углерода данным методом. Для напыления антиэмиссионных покрытий на сеточные электроды сложной структуры существуют различные методы, обладающие своими плюсами и минусами. Нанесение покрытий из пироуглерода наиболее эффективно производить с использованием дугового разряда в вакууме. В качестве преимуществ вакуумно-дугового разряда можно отметить высокую степень чистоты получаемого покрытия, возможность покрывать детали большого размера (ограничивается объемом рабочей камеры), детали со сложной и тонкой структурой и возможность получать многосоставные покрытия любой практически любой сложности. Отработка технологии проходила с использованием графитового катода и молибденовых деталей-заготовок (сеток тетрода ГУ-138Б). В работе представлен результат эксперимента, расчета КПД и оценка жизнеспособности метода., The work includes theoretical information about the components of electrovacuum devices, a detailed analysis of existing coating methods, their comparative characteristics and features. The paper also describes the physics of the process of ion-plasma deposition, presents and describes in detail the technology of coating formation from pyrolytic carbon by this method. The technology used a graphite cathode and molybdenum grid electrodes of the GU-138 tetrode. The results of the experiment, the calculation of efficiency and the assessment of the viability of the method are presented.

Film silicon oxide plays an important role in the process of creating silicon structures and semiconductor devices. The article is devoted to methods of formation of oxide layers, which include: thermal oxidation, anodizing in electrolytes, pyrolytic deposition (deposition from the gas phase and plasma anodizing or oxidation.

Рассматривается возможность получения углеродных наноматериалов методом разложения углеводородов низкотемпературной плазмой вакуумно-дугового разряда. В качестве низкотемпературной плазмы используется разряд в вакууме, горящий в парах графитового катода. Показана возможность получения как композитных углеродных порошков, так и функциональных покрытий специального назначения. Исследованы свойства полученных углеродных материалов., We consider the possibility of obtaining carbon nanomaterials by decomposition of hydrocarbons in low-temperature plasma of vacuum arc discharge. As a low-temperature plasma discharge in vacuum is used, burning from graphite cathode. The possibility of obtaining carbon composite powders and functional coatings of special purpose, was shown. The properties of the obtained carbon materials were investigated., №1 (2018)