1. Beitrag zur Entwicklung eines Membranreaktors : Herstellung dünner metallischer Schichten auf porösen keramischen Substraten
- Author
-
Büttner, Angela, Faupel, Franz, and Föll, Helmut
- Subjects
Aluminiumoxidkeramik ,Abschlussarbeit ,Membranreaktor ,Physical Vapour Deposition ,Dünnschichttechnik ,Surface Mo ,Faculty of Engineering ,Technische Fakultät ,Trägersubstanz ,Silver Films ,Sol-Gel Process ,Silber ,Poröser Stoff ,Adhesion, Physical Vapour Deposition, Gas Separation, Silver Films, Metal Coatings , Sol-Gel Process, Microstructure, Surface Mo ,doctoral thesis ,Metal Coatings ,Gas Separation ,ddc:660 ,Adhesion ,ddc:6XX ,Microstructure - Abstract
Bei der Entwicklung von Metallmembranen sind folgende Forderungen zu erfüllen. Der Metallfilm sollte bei minimaler Schichtdicke eine maximale Gasdichtheit aufweisen, sprich frei von Defekten in Form von Rissen oder Poren infolge von Agglomerations- und Wachstumsprozessen bzw. Delamination vom Substrat sein. Die Hauptaufgabe dieser Doktorarbeit bestand darin, ein geeignetes Verfahren für die Abscheidung von Silberfilmen auf vorgefertigte Keramiksubstrate zu entwickeln und sicherzustellen, daß diese Silberfilme eine dem späteren Einsatz als Sauerstoffseparationsmembran angemessene Substrathaftung und Gasdichtheit aufweisen. Die geleisteten Arbeiten lassen sich zwei unterschiedlichen thematischen Schwerpunkten zuordnen: 1. Präparation und Charakterisierung der Silberfilme im Hinblick auf ihre Mikrostruktur begleitet von der sukzessiven Optimierung des Depositionsverfahrens im Hinblick auf ihre Gasdichtheit. 2. Entwicklung einer geeigneten Methode zur Verbesserung der Gasdichtheit und Steigerung der Haftfestigkeit zwischen Silberfilm und Keramiksubstrat.
- Published
- 2003