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Durch den Einsatz von optischer Topografiemesstechnik mit sehr hoher axialer Auflösung auf der neu entwickelten Diamantbearbeitungsmaschine ist es möglich, die geometrischen Begrenzungen bei der Endbearbeitung von hochgenauen Diamantwerkzeugen zu überwinden. Im Vergleich zu der oftmals eingesetzten digitalen Bildverarbeitung wird das Diamantwerkzeug bei der Weißlichtinterferometrie senkrecht angemessen. Nur so kann die hohe axiale Auflösung der Interferometrie zur Bestimmung der Schneidengeometrie genutzt werden. Erste Messungen zeigen die Vorteile der Integration der optischen Messtechnik auf der Maschine. Durch eine Zusatzbeleuchtung für das Diamantwerkzeug konnten darüber hinaus die Vorteile der Bildverarbeitung für die Formmessung nutzbar gemacht werden, so dass ein hybrides Messsystem zur Verfügung steht. Die mit dem neu entwickelten Maschinensystem gefertigten und mit der maschinenintegrierten Messtechnik geprüften Werkstücke müssen in einer weiteren Etappe durch hochauflösende Referenzmesstechnik im Labor verifiziert werden. Dazu sollen ein stationäres Weißlichtinterferometer hoher lateraler Auflösung und ein Rasterkraftmikroskop (AFM) eingesetzt werden.