1. Keimbildung und Wachstum von TiO2 in dünnen Schichten : Bombardierung erzeugt Rutil-Keime; bei 250°C entstehen große Anatas-Körner
- Author
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Dieter Mergel
- Subjects
Anatase ,Materials science ,Rutile ,Analytical chemistry ,Nucleation ,Thin film ,Physik (inkl. Astronomie) ,Condensed Matter Physics ,Surfaces, Coatings and Films ,Deposition temperature ,Amorphous solid - Abstract
Die Morphologie dunner Schichten aus TiO2 spiegelt den gesamten Herstellungsprozess wider. Rutil-Keime entstehen bei Beschuss der wachsenden Schicht mit Teilchen der Energie 100 eV, vermutlich durch Subplantation. Anatas wachst in amorphen Schichten schneller als Rutil, aufgrund niedrigerer Verspannung. Aufgedampfte Schichten sind bei Raumtemperatur metastabil und konnen durch Nachheizen bei der Aufdampftemperatur reproduzierbare optische Eigenschaften erhalten. Die Zunahme des Brechungsindexes mit steigender Dichte kann wegen der inhomogenen Struktur der Schichten nicht mit einem Clausius-Mosotti-Ansatz beschrieben werden. Nucleation and growth of TiO2 in thin films The morphology of thin films of TiO2 reflects the whole production process. Rutile nuclei are generated by bombardment of the growing film with particles with an energy of about 100 eV, presumably by subplantation. Anatase grows faster in amorphous films, due to lower mechanical stress. Evaporated films are metastable at room temperature and can get reproducible optical properties by postheating at the deposition temperature. The increase of the refractive index with increasing mass density cannot be described with a ClausiusMosotti approach, due to the inhomogeneous structure of the films.
- Published
- 2011