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We report on the fabrication of an all-glass vapor cell with a thickness varying linearly between (exactly) 0 and ∼1  μm. The cell is made in Borofloat glass that allows state-of-the-art super polish roughness, a full optical bonding assembling and easy filling with alkali vapors. We detail the challenging manufacture steps and present experimental spectra resulting from fluorescence and transmission spectroscopy of the cesium D1 line. The very small surface roughness of 1 Å rms is promising to investigate the atom-surface interaction or to minimize parasite stray light.

Le Laboratoire Charles Fabry conçoit de nombreuses optiques dont certaines pour les applications dans le spectre EUV. Pour les besoins de caractérisation, il est nécessaire de posséder une métrologie à la longueur d'onde d'utilisation proche des moyens de fabrication. Ceci permet d'étudier les composants dès leur conception et de caractériser les optiques. Nous présentons ici les performances d'un réflectomètre automatisé EUV large spectre. Il a été développé dans le cadre de la centrale CEMOX1, initiée par le pôle PRaXO2.

Nous avons étudié par spectroscopie d'émission X induite par électrons (EXES) et par réflectométrie X (RX), un empilement périodique constitué de bicouches Mo/Si, destiné à servir de miroir interférentiel dans le domaine des rayons X mous. Les résultats de RX rasante ($\lambda = 0,154$nm) peuvent être interprétés par une succession de couches où les atomes de Si se mélangent aux couches Mo et réciproquement, avec de plus une rugosité interfaciale. D'après l'analyse EXES, les atomes de silicium sont présents dans deux environnements physico-chimiques différents. Au centre des couches Si, se trouve du silicium amorphe et au niveau des interfaces se trouve une interphase sur une épaisseur d'environ 2 nm où les atomes de Si sont sous forme de siliciures (Mo5Si3et MoSi2). La composition de cette interphase a été déterminée et a permis de reproduire d'une manière satisfaisante les mesures de réflectivité absolue effectuées en RX mou ($\lambda = 1,33$nm).

In this paper, we present the development of Al-based multilayer mirrors for the spectral range [17 nm - 34 nm]. The purpose of presented study is to optimize the deposition of Al-based multilayers by the ion beam sputtering (IBS) technique according to several parameters such as the ion beam current and the angle of inclination of targets, which allowed us to vary the energy of ad-atoms deposited onto a substrate. We expected to achieve good reflectivity values for both two- and three-material stacks: aluminum/molybdenum Al/Mo, aluminum/molybdenum/boron carbide Al/Mo/B4C and aluminum/molybdenum/silicon carbide Al/Mo/SiC. We have undertaken a series of structural and chemical analyses of these systems. We present their optical characteristics in the EUV range.

Le Laboratoire Charles Fabry con?oit de nombreuses optiques dont certaines pour les applications dans le spectre EUV. Pour les besoins de caract?risation, il est n?cessaire de poss?der une m?trologie ? la longueur d'onde d'utilisation proche des moyens de fabrication. Ceci permet d'?tudier les composants d?s leur conception et de caract?riser les optiques. Nous pr?sentons ici les performances d'un r?flectom?tre automatis? EUV large spectre. Il a ?t? d?velopp? dans le cadre de la centrale CEMOX1, initi?e par le p?le PRaXO2.

We report on further development of three-material multilayer coatings made with a use of aluminum for the extreme ultra-violet (EUV) applications such as solar physics, high-order harmonic generation or synchrotron radiation. It was found that an introduction of refractory metal in Al-based periodic stack helps to reduce significantly an interfacial roughness and provides for a higher theoretical reflectance in the spectral range from 17 to 40 nm. The normal incidence reflectivity as high as 55 % at 17 nm, 50 % at 21 nm and 42 % at 30 nm was achieved with the new Al/Mo/SiC and Al/Mo/B4C multilayer mirrors, which have been optimized, fabricated and characterized with x-rays and synchrotron radiation. A good temporal and thermal stability of the tri-component Al-based multilayers has been observed over 3 years.