Актуальність Використання плазмових технологій на основі низькотемпературної плазми тліючого розряду має низку переваг перед традиційними методами хімічної обробки: можливість протікання процесу при малих температурах, відносно висока швидкість протікання за рахунок швидкого нагрівання до необхідної температури, можливість використання даного методу для обробки деталей складної форми. Серед останніх наукових досліджень є вивчення тліючого розряду для плоских поверхонь, для сфер, для циліндрів. Модель протікання тліючого розряду із неоднорідними поверхнями, а саме в тонких трубках, ще не було досліджено. З цієї причини дослідження є актуальним. Зв’язок роботи з науковими програмами, планами, темами кафедри Наукова тема 2415-n(стволи). Об’єкт дослідження Прилади для генерації тліючого розряду у газовому середовищі Предмет дослідження Двовимірні фізико-топологічні моделі тліючого розряду, конструктивні, технологічні та електрофізичні параметри цих моделей. Мета роботи Метою дослідження є подальший розвиток та оптимізація використання тліючого розряду у промисловості, а саме для азотування металів у тонких трубках. Методи дослідження Методи математичної фізики, фізико-топологічного моделювання і чисельного розрахунку для розробки та дослідження двовимірних фізико-топологічних моделей газорозрядних приладів для азотування тліючим розрядом. Відомості про обсяг роботи, кількість ілюстрацій, таблиць, додатків і літературних найменувань за переліком використаних. Кількість ілюстрацій: 22 Кількість таблиць: 1 Кількість літературних найменувань: 51. Мета індивідуального завдання, використані методи та отримані результати Метою індивідуального завдання є:1. Експериментально дослідити тліючий розряд для неоднорідних поверхонь. 2. Створити модель тліючого розряду для неоднорідних поверхонь у програмному середовищі COMSOL MULTIPHYSICS 3. Дослідити закон Геля для розвинених поверхонь катоду 4. На підставі проведеного дослідження запропонувати загальні рекомендації для використання результатів дослідження у науковій та/або практичній діяльності Висновок В процесі дослідження було опрацьовано експериментальні дані процесу тліючого розряду для неоднорідних поверхонь. Було досліджено та розраховано модель тліючого розряду для аргону при тисках 0,5-2 Торр. Опрацьована технологія створення тліючого розряду у вузьких трубках згідно державної теми 2415-n (стволи). Результати дослідження можуть бути використані у технології азотування металів. Topicality The use of plasma technologies based on low-temperature glow discharge plasma has a number of advantages over traditional methods of chemical processing: the possibility of the process proceeding at low temperatures, a relatively high flow rate due to rapid heating to the required temperature, the possibility of using this method for processing parts of a complex shape. Among the latest scientific research there is the study of glow discharge for flat surfaces, for spheres, for cylinders. The model of glow discharge flow with developed surfaces, namely in thin tubes, has not yet been investigated. For this reason, the research is relevant. Relationship of work with scientific programs, plans, themes cathedra Scientific topic 2415-n Object of research Devices for generating a glow discharge in gas. Subject of research Two-dimensional physical and topological models of glow discharge, design, technological and electrophysical parameters of these models. Purpose of work Further development and optimization of the use of glow discharge in industry, namely for nitriding metals in thin tubes. Research methods Methods of mathematical physics, physical and topological modeling and numerical calculation for the development and study of two-dimensional physical and topological models of gasdischarge devices for nitriding glow discharge. Information about the volume of the report, the number of illustrations, tables, applications and literary names in the list of used ones. Number of illustrations: 23 Number of tables: 1 Number of literary titles: 34 The purpose of the individual task, the methods used and the results obtained. 1. Experimentally investigate the glow discharge for developed surfaces. 2. Create a glow discharge model for developed surfaces in the COMSOL MULTIPHYSICS software environment. 3. Investigate Hehl's law for developed cathode surfaces4. On the basis of the conducted research, propose general recommendations for the use of research results in scientific and/or practical activities. Conclusion In the process of investigating experimental data of the process of glow discharge for nonhomogeneous surfaces was processed. The glow discharge model for argon at pressures of 0.5-2 Torr was studied and calculated. Technology for creating a glow discharge in narrow tubes according to state topic 2415-n (barrels) was processed . The research results can be used in metal nitriding technology.