Mikro-elektro mekaniske systemer (MEMS) er ny en teknologi med stort potentiale for kommerciel anvendelse indenfor såvel generel og biokemisk som biomolekylær detektion. Cantilever sensorer er et eksisterende MEMS koncept, der kan bruges til detektion af enten statisk overfladestress fremkaldt af et bimolekylært samspil eller minutiøs masseændring ved resonansbestemmelse. Formålet med denne forskning har været at opfinde, opdage og undersøge alternative påvirknings- og detektionsprincipper af cantilevers drevet i resonans tilstanden. I vores forskning har vi holdt os til et fast sæt forskningsværdier, som vi mener ville gøre produkterne kommercielt konkurrencedygtige. Vi undersøgte kun enkelt-maske planar komponenter, forsøgte at begrænse antallet af behandlingstrin og sigtede efter element designs der så lidt som muligt bruger eksternt elektronisk udstyr til aktuelle målinger. Vi opfandt et nyt dynamisk elektro-termisk aktiveringsprincip og undersøgte dets ydeevne både i praksis og teoretisk. En komponent der bringes til resonans ved hjælp af det ovennævnte princip blev derefter karakteriseret ved hjælp af laser/optisk detektion, og vi udførte basale massemålinger. Vi opdagede et nyt detektionsprincip (gennemslagsprincippet), som brugtes i forbindelse med en elektro-termisk betjent cantilever, udførte resonansfrekvens bestemmelse samt basal karakterisering af den nye detektionsmetode. Generel forskning i resonans MEMS apparater som ikke er rene cantilevers blev også forsøgt og frembragte et styrende apparat. For at kunne forbedre vores eksisterende instrument designs gik vi fra UV litografi fabrikation til elektronstråle litografi fabrikation. Omkostningerne ved denne fremstillingsmetode er afhængig af skrivetiden, derfor bestræbte vi os på at reducere denne med innovative procesløsninger som punktstrukturering og omrids skrivning. Vi undersøgte metal fabrikationen af hængende strukturer og opfaldt en ny proces, der involverer top-lag-afskrælning af en vinklet depo, Micro-electro mechanical systems (MEMS) are an emerging technology with a big potential for commercial applications in for general and biochemical sensing and biomolecular detection. Cantilever sensors are and existing MEMS concept that can be used for sensing and detection by either static surface stress detection, induced by a bimolecular interactions, or by mass-detection using resonance detection. The goal of this research has been to invent, discover and research alternative actuation and detection principles for resonating cantilevers. In our research, we adhered to fixed set of research values that we believe would make its products commercially competitive. We researched only planar, one mask devices, strove to limit the number of processing steps and aimed for device designs that use as little as possible external equipment in the form of electronics, for field measurements. We invented a new dynamic electro-thermal actuation principle and researched its performance experimentally and theoretically. A device that is actuated using the above principle was then characterized using laser/optical detection and we performed basic mass measurements. We discovered a new detection principle (rupture detection) to be used in conjunction with an electro-thermally actuated cantilever, performed resonant frequency detection and performed basic characterization of the new detection method. General research into resonant MEMS devices that are not plain cantilevers was also attempted and yielded a device that is actuating. In order to improve our existing device designs we then made a transition from UV lithography fabrication to electron beam lithography fabrication. This fabrication method is expensive depending on writing time, so we strove to reduce this with innovative processing solutions such as dot patterning and outline writing. We researched metal fabrication of suspended structures and invented a new pr